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應(yīng)用材料公司推出原子級(jí)薄膜處理系統(tǒng)以降低芯片功耗

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2014-10-10     來(lái)源:[標(biāo)簽:出處]     作者:[標(biāo)簽:作者]     瀏覽次數(shù):135
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網(wǎng)訊:2011年11月30日,上海——今天,應(yīng)用材料公司推出全新的Applied Producer® Onyx™薄膜處理系統(tǒng),以降低半導(dǎo)體芯片的功耗。該突破性技術(shù)通過(guò)優(yōu)化隔離芯片中長(zhǎng)達(dá)數(shù)英里互聯(lián)導(dǎo)線的低介電常數(shù)薄膜的分子結(jié)構(gòu),使客戶(hù)在拓展至22納米及更小技術(shù)節(jié)點(diǎn)時(shí)能夠繼續(xù)不遺余力地制造出更快、更節(jié)能的邏輯器件。

  應(yīng)用材料公司副總裁兼介質(zhì)系統(tǒng)及模塊事業(yè)部總經(jīng)理Bill McClintock表示:“互聯(lián)導(dǎo)線消耗了近三分之一的芯片功率,降低這部分功耗對(duì)于提高先進(jìn)邏輯器件的性能、延長(zhǎng)電池壽命至關(guān)重要。Onyx系統(tǒng)具有獨(dú)特的處理能力,能夠?qū)崿F(xiàn)業(yè)界最節(jié)能的互聯(lián);同時(shí)能夠提高介質(zhì)的機(jī)械強(qiáng)度,使得芯片更加堅(jiān)固,能夠更好地承受來(lái)自新興三維封裝應(yīng)用的考驗(yàn)。目前,多套Producer Onyx系統(tǒng)已在進(jìn)行試生產(chǎn),用于先進(jìn)邏輯器件的制造。”

  隨著每個(gè)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的不斷變小,互聯(lián)導(dǎo)線之間的距離變得越來(lái)越近,使得相鄰互聯(lián)導(dǎo)線之間產(chǎn)生寄生電容或串?dāng)_的可能性也隨之增加,這會(huì)耗能并減緩開(kāi)關(guān)速度。通過(guò)降低隔離及支撐這些結(jié)構(gòu)的絕緣材料的介電常數(shù)來(lái)降低寄生電容,是確保持續(xù)改善性能和電池壽命的重要途徑。

  應(yīng)用材料公司具有專(zhuān)*保護(hù)的Onyx技術(shù)通過(guò)在多孔介質(zhì)薄膜中填充碳和硅材料,在原子量級(jí)對(duì)該隔離材料進(jìn)行加固。該處理工藝將介電常數(shù)降低20%之多,從而大幅降低了芯片功耗。此外,該工藝還提高了介質(zhì)薄膜的硬度,使其能夠承受數(shù)以百計(jì)后續(xù)工藝和封裝步驟的考驗(yàn)。

  應(yīng)用材料公司(納斯達(dá)克:AMAT)是一家全球領(lǐng)先的高科技企業(yè)。應(yīng)用材料的創(chuàng)新設(shè)備、服務(wù)和軟件被廣泛應(yīng)用于先進(jìn)半導(dǎo)體芯片、平板顯示器和太陽(yáng)能光伏產(chǎn)品制造產(chǎn)業(yè)。我們的技術(shù)使智能手機(jī)、平板電視和太陽(yáng)能面板等創(chuàng)新產(chǎn)品以更普及、更具價(jià)格優(yōu)勢(shì)的方式惠及全球商界和普通消費(fèi)者。在應(yīng)用材料,我們應(yīng)用今天的創(chuàng)新去成就明天的產(chǎn)業(yè)。欲了解更多信息,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)www.appliedmaterials.com。

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