高分辨率，大景深觀察

　　（1） 高分辨率， 最大放大24000 倍

　　（2） 完全聚焦的清晰圖像

　　（3） 符合溯源性要求

　　仿佛彩色 SEM

　　（1） 16 bit 激光彩色觀察

　　（2） 放置并且測量，您可以在幾秒鐘內進行分析

　　（3） 可拆卸測量頭單元允許各種尺寸的樣品測量。可拆卸測量頭單元可以與其他設備整合并支持遠程操作。

　　無損輪廓和粗糙度測量

　　（1） 非接觸式設計，可用于測量軟質的工件

　　（2） 方便定位測量區域

　　（3） 激光光束波長比表面粗糙度測量直徑小

激光顯微系統VK-X100/X200系類