產品描述：只需更換傳感器組件，即可檢測各種半導體材料氣體
01.產品特點
· 只需要更換傳感器單元就可以檢測各種對象氣體
· 用盒式傳感器單元無需進行氣體檢測器校正
· 可以大幅度削減成本和維護時間
02.產品用途
· 半導體工廠/石油化學工廠等
· 在使用半導體材料氣體/毒性氣體的現場進行泄漏檢測
03.對象氣體
| 型號 |
氣體 |
滿量程 |
| XDS-7NH |
NH3 |
100ppm |
| XDS-7SH |
SiH4 |
25ppm |
| XDS-7DC |
SiH2Cl2 |
25ppm |
| XDS-7AH |
AsH3 |
250ppb |
| XDS-7PH |
PH3 |
1ppm |
| XDS-7BH |
B2H6 |
500ppb |
| XDS-7SE |
H2Se |
250ppb |
| XDS-7GH |
GeH4 |
1ppm |
| XDS-7CL |
Cl2 |
5ppm |
| XDS-7CF |
ClF3 |
1ppm |
| XDS-7HC |
HCl |
25ppm |
| XDS-7HF |
HF |
10ppm |
| XDS-7HB |
HBr |
10ppm |
| XDS-7NO |
NO |
100ppm |
| XDS-7HS |
H2S |
50ppm |
| XDS-7CO |
CO |
250ppm |
| XDS-7DS |
Si2H6 |
25ppm |
| XDS-7F2 |
F2 |
5ppm |
| XDS-7OZ |
O3 |
1ppm |
| XDS-7SD |
SO2 |
10ppm |
| XDS-7ND |
NO2 |
10ppm |
| XDS-7NF |
NF3 |
100ppm |
04.產品參數
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