●適合0603芯片
●響應速度: 13 msec (500 mm時)/18.5 msec (1000 mm時)
●不高于大氣壓力的時段，工件可平穩脫落。
●真空?正壓的切換不需要時間調整。
●不需要破壞空氣的節流回路。
●真空過濾器: ZFC050 (訂制)
  ＊從單元到工件的距離