LB/LO/LL HEPA/ULPA LB/LO/LL ULPA 使用低硼/低有機物玻璃纖維紙之空氣過濾網。 PTFE 使用超細微之纖維所結合而成,低壓損、高捕集效率，其特征為氟樹脂之潔凈性及耐藥品性。

 

內容

 

半導體科技 ROAD MAP 中Design Rule為分子污染的對策必須在0.13μm以下。

臺灣霓塔具備革新的高科技的技術來制造低硼、低有機物空氣過濾網，已提供此制品給日本市場的許多客戶。

臺灣霓塔的低硼、低有機物制品，以日本Nitta分子污染評價技術，其性能有被證明。

下個世代的無塵室中為了有效抑制分子污染，若怠慢了低硼、低分子污染的對策，將無法抑制分子污染。

分子污染的對策在超清潔環境有被要求的場合時，化學過濾網、低硼、低有機物空氣過濾網的組合是*適合被選擇使用。

1.過濾網類型

平板型 低硼、低有機物HEPA Filter

型號 厚度(MM) 面風速(M/S) 初期壓損(PA) 效率(0.3UM) 安全規格UL900

LB3502 52 0.5 / 0.85 120 / 210 99.99% / 99.97% ---

LB3402 68 0.5 / 0.85 95 / 165 99.99% / 99.97% ---

LB3802 86 0.5 / 0.85 80 / 140 99.99% / 99.97% ---

LL3502 52 0.5 125 99.97% ---

LL3402 68 0.5 125 / 100 99.99% ---

LO3501 52 0.5 / 0.85 140 / 250 99.99% ---

LO3401 68 0.5 / 0.85 110 / 200 99.99% ---

LO3801 86 0.5 / 0.85 90 / 160 99.99% ---

LL3501 52 0.5 / 0.85 140 / 250 99.99% ---

LL3401 68 0.5 / 0.85 110 / 200 99.99% ---

LL3801 86 0.5 / 0.85 90 / 160 99.99% ---

* UL900為選購產品

平板型 低硼、低有機物ULPA Filter

型號 厚度(MM) 面風速(M/S) 初期壓損(PA) 效率(0.1~0.2UM) 安全規格UL900

LB3542 52 0.5 170 99.999% ---

LB3442 68 0.5 135 99.999% ---

LB3842 86 0.5 / 0.85 110 / 190 99.999% ---

LO3541 52 0.5 200 99.999% V

LO3441 68 0.5 / 0.85 145 / 250 99.9995% / 99.999% V

LO3841 86 0.5 / 0.85 125 / 215 99.9995% / 99.999% V

LL3541 52 0.5 200 99.999% V

LL3441 68 0.5 / 0.85 145 / 250 99.9995% / 99.999% V

LL3841 86 0.5 / 0.85 125 / 215 99.9995% / 99.999% V

* UL900為選購產品

CELL型 無硼PTFE HEPA Filter

型號 尺寸(MM) 風量(CMM) 初期壓損(PA) 效率(0.3UM) 安全規格UL900

U150X-12 595x595x292 43.8 190 99.995% ---

U150X-06 290x595x292 18.5 190 99.995% --- 平板型 無硼PTFE HEPA Filter

型號 厚度(MM) 面風速(M/S) 初期壓損(PA) 效率(0.3UM) 安全規格UL900

TNNE30H 52 0.5 98 99.999% V

TNNE35H 52 0.5 85 99.999% V 平板型 無硼PTFE ULPA Filter

型號 厚度(MM) 面風速(M/S) 初期壓損(PA) 效率(0.1~0.2UM) 安全規格UL900

TNNA35U6 52 0.5 116 99.99995% V

TNNA40U6 52 0.5 102 99.99995% V

TNNA50U6 86 0.5 82 99.99995% V