使用安全的紅色LED作為光源，無需任何繁雜的安全措施。無需使用激光時必備的保護罩，在美國使用時不需要符合FDA標準。

檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實現光電傳感器同等的低功耗。

雖然使用紅色LED作為光源，但仍然具有激光傳感器同樣的高性能，因此可實現高精度檢測。

投、受光部一體型，無需繁瑣的光軸調整。并且，檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區域，可對應各種不同尺寸的晶圓。