川崎機器人 NS420 雙手臂無塵機器人

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店鋪基本資料信息

產品詳細說明

NS系列機器人

用于半導體、有機EL、LCD面板

NS系列無塵機器人以其長期現場使用證明其具有300mm晶圓搬運所需的可靠性和高水平性能。NS系列的RTZ操縱器運動功能，具有線性軸的可選長度，以實現額外的FOUP伸展范圍。

NS410 / NS510 單手臂
NS411 可以翻轉的單手臂
NS420 雙手臂
NS511懸掛式安裝，可以翻轉

SEMI F47合規

NS型號可以瞬時響應電波動，如電壓下降，并且在電壓恢復時自動恢復運行。

SEMI S2合規

NS型號可以滿足對環境和人身安全的特殊考慮。

碰撞檢測

軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能，以減少碰撞所造成精密、專用設備的損壞。

翻轉夾持軸

NS411型號有一個附加軸，用于在水平和垂直角度搬運晶圓。

懸掛式安裝

NS511型號具有吊裝規格設計，用于在化學液體環境中使用，同時滿足ISO 5級的要求。

NS系列的規格

型號		NS410	NS411	NS420	NS510	NS511
構造		水平多關節型
自由度		3 軸	4 軸	4 軸	3 軸	4 軸
運動范圍	Y 軸（行進JT1）	2 FOUP: 660 mm / 3 FOUP: 1,070 mm 4 FOUP: 1,670 mm			-	-
	θ 軸 (旋轉JT2)	380°	325°	325°	360°	473°
	Z 軸 (上下JT3)	380 mm	380 mm	380 mm	440 mm	440 mm
	X 軸 (上下JT4)	710 mm	798 mm	X1: 646.8 mm X2: 646.8 mm	598 mm	816.5 mm
	F 軸 (旋轉JT5)	-	156°	-	-	200°
重復性		± 0.1 mm （晶圓中心）
無塵度*1		ISO 2級				ISO 5級
控制柜		D60/D61 (規格見無塵控制柜)