可編程控制模塊

多設(shè)備雙線 RS-485/MODBUS RTU 通信方式

 

簡易流量控制安裝

在先進(jìn)的質(zhì)量流量測量基礎(chǔ)上，Compod™搭配了Sierra的Smart-Trak® 2質(zhì)量流量計(jì)或流量控制器使得設(shè)備網(wǎng)絡(luò)組態(tài)更加方便。通過開源RTU協(xié)議，Compod™也可以監(jiān)控或診斷流量控制器的內(nèi)部系統(tǒng)參數(shù)值。用戶在配備了Compod™后可以對(duì)Smart-Trak®質(zhì)量流量計(jì)和控制器進(jìn)行更復(fù)雜的控制，兩路數(shù)字輸出和一路模擬輸入可以對(duì)以下工藝參數(shù)進(jìn)行配置 

 

      • Gas mixing and blending

      • Batch control

      • Sensor driven leak testing

      • Process monitoring

      • Physical Vapor Deposition (Sputtering)

      • 壓力監(jiān)控及控制

      • 氣體比率控制

      • 內(nèi)部閥門性能監(jiān)測

      • 多報(bào)警信號(hào)設(shè)置

      • 客戶自定義流量啟動(dòng)停止配置

      • 氣體累計(jì)及可調(diào)脈沖輸出設(shè)置

      • 更多...
產(chǎn)品概述