五相步進(jìn)馬達(dá)與滾珠絲杠一體化，結(jié)構(gòu)緊湊。可實(shí)現(xiàn)裝置小型化。適用于半導(dǎo)體制造裝置、一般工業(yè)機(jī)械、機(jī)床、搬運(yùn)設(shè)備等。